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晶盛机电成功研发8英寸碳化硅外延设备

发布时间:2023-06-27 阅读量:3698

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        近日,晶盛机电成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备,引领国内碳化硅行业技术升级。该设备可实现掺杂均匀性4%以内的外延质量,是晶盛机电在第三代半导体设备领域的又一次重要技术突破。


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8英寸单片式碳化硅外延生长设备团队合影


        此前,晶盛机电已成功开发了6英寸碳化硅外延设备,技术性能和市占率均居国内前列,取得了重要市场地位。此次8英寸单片式碳化硅外延生长设备的成功研发,标志着晶盛机电在碳化硅行业的技术研发能力迈上了新台阶,为国内碳化硅行业技术、产能升级提供了充分的设备保障。


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8英寸单片式碳化硅外延设备


        碳化硅作为、通信、光电、新能源等领域。相比于6英寸,8英寸碳化硅晶圆的边缘损耗更小、可利用面第三代半导体材料,具有耐高温、高电压、高频率、高功率等优良性能,被广泛应用于电力积更大,未来通过产量和规模效益的提升,成本有望降低60%以上。晶盛机电的8英寸单片式碳化硅外延生长设备,可为行业提供更为先进的技术支持,推动碳化硅行业的快速发展。


        据悉,8英寸单片式碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产,在6英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上,解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题,实现了成熟稳定的8英寸碳化硅外延工艺。目前,在子公司晶瑞的8英寸衬底基础上,已实现8英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试,外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内,已达到行业领先水平。


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工艺结果

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8英寸外延片


        未来,晶盛机电将继续秉持“打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业”的使命,持续加强技术创新和研发投入,为碳化硅产业的发展和科技进步不懈努力。同时,公司将积极推进绿色智能制造,努力实现生产过程的数字化、智能化和绿色化,为客户提供优质的产品和服务,为社会创造价值,作出更大贡献。


诚挚邀请


        了解更多8英寸碳化硅外延设备信息,欢迎您6月29日-7月1日,莅临上海半导体展会E6-201展位交流洽谈。


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展位效果图